二手 ULVAC CS-300R #293607110 待售
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ID: 293607110
晶圓大小: 2"-6"
ICP Reactive Ion Etcher (RIE), 2"-6"
Gases: ITO, Ti, GaN, PR, SiO2
PC Non-functional.
ULVAC CS-300R是一種蝕刻/灰化設備,旨在快速、精確和幹凈地處理各種材料,如矽和金屬。它非常適合制造半導體工業、汽車、家用電器和電源等領域的微機電系統。機器由一個工藝室、一個真空室和一個廢氣處理器的冷卻單元組成。CS-300R工藝室由不銹鋼制成,保證了高性能的蝕刻和灰化工藝的整潔和準確。該腔室的設計易於快速清洗、維護和更換,非常適合可重復、可靠的工藝。ULVAC CS-300R真空系統使用兩級泵送裝置,在腔室內達到2.25 x 10-3 Pa的壓力,允許精確、均勻的蝕刻和灰化過程,即使使用更大規模的基板。這臺機器還可以更快地抽出時間和更高的工藝純度。CS-300R具有處理各種參數的能力,包括溫度範圍、流量和壓力。這種靈活性使它能夠處理各種蝕刻和灰化任務。此外,利用先進的流體動力蝕刻技術,該機能夠有效減少蝕刻周期,最大限度地減少浪費。除了這些功能外,ULVAC CS-300R還集成了高級安全功能,如警報和自動關閉,以確保過程安全進行。此外,該工具還配備了內置配方管理資產,可幫助用戶輕松創建、存儲和修改配方,以實現可重復、精確的蝕刻和灰化過程。總體而言,CS-300R提供了滿足精確制造要求的蝕刻和灰化解決方案。憑借它的靈活性和控制性,它可以處理範圍廣泛、溫度、壓力和時間精確的材料,以達到精確的蝕刻和灰化效果。它非常適合用於半導體、汽車、家用電器和電源行業。
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