二手 ULVAC CSE-1100 #9055174 待售

ULVAC CSE-1100是一個先進的蝕刻器/asher系統，用於半導體行業的苛刻應用。該系統能夠在各種材料中產生精細的結構蝕刻，其中包括矽、移植物和砷。CSE-1100具有150毫米單晶片負載鎖定室和升級的300毫米晶片容量,非常適合大批量生產。ULVAC CSE-1100的核心是它的等離子體源。這種強大的等離子體源具有獨特的長壽命設計，可提高生產率。該源還具有內置氣體平衡控制器，可以精確調整腔室壓力和氣體流量，以優化蝕刻性能。CSE-1100的超高速處理器和大容量內存是專門為蝕刻應用而構建的,可以輕松處理復雜的蝕刻過程。處理器還包括一個內置的圖形編輯器，允許為每個應用程序輕松創建和操作配方。接口盒提供對ULVAC CSE-1100的多個系統的控制和監控，包括控制器、過程監視器和安全系統。它還包括用於連接到網絡或PC以進行遠程操作的RS485接口。CSE-1100的高級設計還包括一個復雜的軟件包,其中包括用於過程控制和優化的各種功能。其創新的蝕刻配方和模糊邏輯控制允許精密蝕刻結果與最小變化的過程參數。ULVAC CSE-1100是一個功能強大的蝕刻系統,具有許多功能,旨在提高先進半導體蝕刻的吞吐量和生產質量。其高性能等離子體源、智能處理器和精密軟件使其成為蝕刻復雜結構的理想工具。