二手 ULVAC CSE-1100 #9055175 待售

ULVAC CSE-1100是為快速生產3維微觀結構而設計的高分辨率蝕刻器/asher。其自旋蝕刻/灰分技術可用於MEMS和半導體基板的蝕刻、微流體和納米結構的制造、厚膜微電路的形成等多種應用。CSE-1100是一種自動蝕刻/灰化設備,同時利用濕蝕刻和幹蝕刻/灰化工藝。它的濕蝕刻能力允許對各種不同的基板進行蝕刻，包括鋁、矽和的。ULVAC CSE-1100的幹蝕刻/灰化能力使三維結構的形成具有高精度和重復性。CSE-1100配備了兩個獨立控制的蝕刻/灰化系統。主系統由真空室和蝕刻/ashing陰極組成，而第二單元則由激光光源和旋轉ashing盤組成。在蝕刻/灰化循環期間，基板被放置在真空室內陰極和陽極之間。激光光源照亮基板，提供必要的能量開始蝕刻/灰化過程。當圓盤旋轉時,它會逐漸去除不需要的材料並塑造所需的微觀結構。ULVAC CSE-1100能夠以高達200 cm/h的速度蝕刻/沖洗。此外，它的數字精密電機和傳感器提供了高精度和重復性，允許生產復雜的3維結構，幾乎沒有缺陷。CSE-1100的板載控制器確保了蝕刻/灰化過程的一致性,提供了一臺控制良好且可重現的機器。此外，ULVAC CSE-1100還配備了集成真空傳感器，通過監測真空室內的壓力變化來優化蝕刻/灰化過程。總體而言，CSE-1100提供了一種生產三維微觀結構的有效和可靠的方法。其高精度的蝕刻/灰化工具可以制造復雜的微結構,並具有最小的缺陷和一致的結果。此外，它的自動蝕刻/灰化工藝和板載真空傳感器提供了可靠和可重現的蝕刻/灰化資產。