二手 ULVAC CX-500Z #293758418 待售

ULVAC CX-500Z是為半導體、MEMS（微機電系統）和先進薄膜器件制造中的精密蝕刻和清洗過程而設計的先進等離子體蝕刻器和asher設備。這種高度通用的工具提供了廣泛的特性和功能,以滿足現代制造工藝的苛刻要求。CX-500Z利用高密度等離子體源在各種基材上提供高效、均勻的蝕刻和灰化工藝，包括矽、砷化的和其他半導體材料。該系統配備了精密的射頻電源和氣體輸送單元，允許精確控制功率、壓力、氣體流量、溫度等工藝參數。ULVAC CX-500Z的一個主要特點是其雙模操作，使其能夠在同一腔室中同時執行蝕刻和灰化過程。此功能可提高處理工作流的靈活性和效率,從而提高工作效率並縮短周期時間。該機器還采用了一種獲得專利的氣體分配工具，可確保晶片的均勻性和可重復性，從而實現一致的蝕刻速率和輪廓。這對於在先進的半導體制造中實現高工藝產量和器件性能至關重要。此外,CX-500Z還配備了最先進的端點檢測資產,可實時監控過程參數,以精確控制蝕刻深度和端點,從而確保準確可靠的過程結果。這一特點對於關鍵蝕刻工藝尤為重要，因為在這些工藝中，對材料去除的精確控制至關重要。該模型還設計了用戶友好的軟件接口，允許操作員輕松編程和控制流程配方，監控流程參數，實時分析數據。這種直觀的界面簡化了操作，並最大限度地減少了潛在的錯誤，從而導致更加一致和可重現的過程結果。此外，ULVAC CX-500Z還配備了堅固可靠的真空設備，可實現快速的泵降時間、高真空水平和低基壓。這確保了出色的工藝一致性和可重復性,即使在大批量生產環境中也是如此。總體而言，CX-500Z是一個高度先進的等離子體蝕刻器和asher系統，它為半導體和MEMS制造中的精密蝕刻和清潔過程提供了廣泛的特性和功能。其雙模運行、高密度等離子體源、專利氣體分配單元、端點檢測技術、用戶友好界面、魯棒真空機，使其成為多種制造應用的多功能強大工具。