二手 ULVAC Enviro I #9014612 待售

ULVAC Enviro I
ID: 9014612
晶圓大小: 6"-8"
Strip system, 6"-8" Single chamber Optical end-point detection Downstream microwave and low-damage RIE modes Single wafer Load-locked MESC compatible tool Multi-step processing capabilities Windows-based software Off-line recipe selection SECS/GEM communication standards Data logging in the control system.
ULVAC Enviro I是為金屬、合金、有時還有半導體材料的快速蝕刻和圖案設計的蝕刻器/灰化器。它是一種小巧、用戶友好的設備,具有先進的控制器和強大的電動舞臺,能夠在高速下精確蝕刻目標材料。該系統采用模塊化設計,便於維護和調整各種工藝參數。EnviroI配備了先進的三相旋轉器,以一致的速率對大型目標區域進行統一蝕刻。它的10 x 10 cm工藝室可確保即使是最好的設備部件的最大證據,而低壓極限開關可確保最佳安全性。該裝置還包括一個高溫電阻加熱器,可快速加熱至500 °C的溫度,以及一個高壓電阻加熱器,非常適合蝕刻高達250 Torr的過程。此外,ULVAC Enviro I配備了自動壓力控制和真空排氣,以及等離子體蝕刻、基板清洗、預蝕刻和深度剖析等功能。Enviro I直觀的基於PC的控制允許輕松訪問所有功能和編程,允許用戶即時調整流程設置。該機還具有一種智能自動模式,在這種模式下,每次蝕刻或制圖任務時,室內大氣和壓力都會逐步地自動調整到目標壓力。多功能工具提供了靈活性和便利性,非常適合為晶片制作圖案、記住口罩或精確快速地蝕刻金屬零件。
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