二手 ULVAC Enviro II #293813794 待售
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ULVAC Enviro II是一種蝕刻器/asher，用於等離子體蝕刻、灰化和清潔操作等多種應用。它是一種垂直加載、全面的蝕刻器/asher,具有多種自動化功能和真空設備配置。該機設計用於工業規模生產，但也可根據需要用於小規模操作。它具有柔性基板傳輸系統，允許處理單件和多件基板的各種材料表面。該設備能夠支持廣泛的蝕刻和灰分處理,使用戶能夠精確控制電壓、溫度、濃度和持續時間等參數。此外，全自動晶圓傳輸機制確保了高度的可靠性和可重復性。Enviro II包含一臺精密的真空機，適用於各種類型的蝕刻和灰化應用。它設計用於最大程度的過程均勻性和可重復性，同時提供過程控制和監控功能。該機的真空工具結合了低壓泵和編程的高真空閥，以提高通量和工藝均勻性。資產可以根據應用進行定制，並設計成最大限度地減少微粒和保持一致的工藝環境。ULVAC Enviro II還采用了先進的冷卻劑模型，用於特殊蝕刻和幹燥工藝應用。加熱器、冷卻器和變頻驅動器（VFD）等組件設計為最大限度地提高流體流量和冷卻速率,從而提高工藝效率和可靠性。Enviro II是可定制的，以滿足各種基材加工的需求。它具有開放式體系結構,使技術人員能夠輕松訪問所有組件,從而實現快速維護和維修。此外，該機器包括一個集成的過程控制器和診斷軟件包與交互式圖形用戶界面。這種類型的軟件包使得設置、控制和診斷蝕刻和灰化過程變得更加容易。綜上所述，ULVAC Enviro II是為大型和小型生產而設計的自動蝕刻清洗設備。它采用先進的真空、冷卻劑和控制器技術，為提高工藝效率和可靠性量身定制。該系統是開放式架構的,易於維護和診斷,以及用於設置和操作的直觀用戶界面。
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