二手 ULVAC Enviro II #9272299 待售

ULVAC Enviro II是ULVAC Technologies Inc.開發的最先進的高性能蝕刻/灰化設備。ULVAE Enviro II非常適合半導體工業和材料科學中需要精確、均勻蝕刻、灰化或結晶的應用。ULVAC Enviro II是一個具有廣泛工藝能力的單室蝕刻/灰化系統。它有一個先進的遠程過程控制單元，允許手動和自動操作。該機器在從惰性氣體到蝕刻劑的各種加工氣體中運行。具有全功能的閉環溫壓控制，產生均勻、可重復的工藝條件。Enviro II能夠在廣泛的溫度、壓力和大氣條件下運行，以滿足最苛刻的要求。該工具旨在提供一個清潔、無汙染的工作環境，並具有自動樣品裝卸資產，以實現大批量生產。該模型采用高精度壓力和溫度傳感控制，確保過程監控快速準確。ULVAC Enviro II還配備了強大的真空設備,具有強大的高速渦輪分子泵和旋轉閥泵送系統,以及快速響應和長壽命電動真空閥。該單元非常適合沈積薄膜、沈積保形薄膜、灰化蝕刻、外延生長、退火和數據存儲。Enviro II是為高通量生產而打造的。它得益於ULVAC先進的多批控制技術，改進了工藝氣體混合，進一步縮短了設置時間。它是一臺具有hiSpec III數據記錄和監視功能的生產就緒機器,具有GAT-Advance多點分析功能,具有出色的過程控制能力和實時數據監視功能。ULVAC Enviro II是關鍵蝕刻和灰化工藝的精美首選工具，旨在達到最高水平的準確性、可重復性和統一性。