二手 ULVAC Enviro #293590385 待售

ULVAC Enviro是一種蝕刻器/粉碎器設備,它提供了一種高效、經濟高效的清洗和蝕刻各種材料的方法。它被設計為執行廣泛的蝕刻、清潔和其他表面準備功能。它非常適合需要高精度清潔、蝕刻或其他表面準備操作的應用。Enviro系統采用了獲得專利的真空提升和先進的工藝控制技術，從而提高了表面制備效果。該單元設計有一個消耗級，並有一個可移動/可更換級框架，這使它能夠容納各種晶圓大小和工藝參數。ULVAC Enviro單元的真空提升特性使單元在過程中能夠移動基板，提高了表面制備的均勻性。利用Enviro進行蝕刻等操作，制造商憑借其統一、可重復的工藝控制，可以實現較高的蝕刻精度和更好的產量。實際上，從ULVAC Enviro機器獲得的蝕刻精度比其他系統高出幾倍。該工具還具有低溫工藝控制電路，確保晶片上的熱量分布均勻，確保蝕刻正確完成。Enviro資產還具有高級流程監控功能,可實時反饋流程參數和模型性能。這包括溫度反饋、過程時間監控、熔化率監控和報警功能。此外，設備還配備了直觀的圖形用戶界面（GUI），可讓操作員輕松監控和調整蝕刻參數。這進一步提高了蝕刻工藝的準確性，使供應商能夠執行更快的周轉時間。ULVAC Enviro系統高度可定制，允許用戶添加濺射、雕刻等各種專門蝕刻工藝。也可用於鈍化、氧化、退火等各種非蝕刻操作。總體而言,Enviro是一個功能強大的蝕刻/asher單元,提供卓越的蝕刻性能。它易於定制並提供高級流程監控,確保更高的準確性和更快的周轉時間。通過使用此機器,制造商可以確保其產品符合要求的標準,從而提高生產產量並提高客戶滿意度。