二手 ULVAC Enviro #9398706 待售

ULVAC Enviro是一個優越的蝕刻/灰化系統，旨在應對先進半導體制造工藝的挑戰。它是一個先進的系統，具有高度可靠，自動的保護機制，對整個過程進行控制。該系統配備了自動感應和控制單元，以準確監控工藝條件，並提供高水平的蝕刻/灰化性能。Enviro具有直觀的圖形用戶界面和觸摸屏以及簡單的圖標驅動菜單,可輕松操作和搜索功能。用戶友好的軟件允許快速存儲和召回多達十種不同的蝕刻/灰度配方。隨附的冷卻和加熱方案附有預置溫度和工藝時間建議，可根據具體應用進行調整。ULVAC Enviro提供4個處理室，每個室都有單獨的控制。為確保高質量的蝕刻/灰化效果,ULVAC蝕刻室配有可調板組件,可在整個板區域內提供高度均勻的蝕刻圖樣。這有助於在同一批處理周期中保持不同半導體材料的蝕刻/灰化特性。蝕刻/粉碎器可以連接到一個完整的智能晶片修剪單元，該單元具有自動氣體混合物，以滿足工藝的需要。Enviro還提供高溫鋁室（最多600℃個），其工藝旨在滿足先進半導體制造中使用的數百種不銹鋼、鎳和鎢合金的超細特征蝕刻/灰化。ULVAC Enviro提供可靠的頂級材料蝕刻/灰化結果,具有業界要求的重復性和精確度。其簡單的菜單選項、控制特性和可靠的工藝室設計縮短了工藝時間，提高了產量。ULVAC蝕刻/灰燼技術提高了生產率,降低了樣品成本,並有助於確保設備的最佳可靠性和性能。