二手 ULVAC Enviro #9399209 待售

ID: 9399209
晶圓大小: 8"
Downstream microwave asher, 8" Single chamber advanced strip system ENI OEM 6B RF Generator BROOKS AUTOMATION Robot EDWARDS IQ Pump/blower Computer (5) MFCs Manuals included.
ULVAC Enviro是一種幹蝕刻和灰化設備,能夠生產高質量的金屬表面,厚度異常均勻。它配備了強大的紫外線發光源,在蝕刻過程中大大降低了對基板的熱損傷。Enviro還具有出色的真空能力,允許用戶在低於10-8 Torr的接近真空壓力下進行蝕刻,同時最大限度地提高工藝速度。此外,蝕刻和灰燼工藝與玻璃襯裏室相結合,用戶可以觀察進展情況並在蝕刻過程中進行任何必要的調整。這也增加了整體系統的安全性。在運營方面,ULVAC Enviro設計得極為通用。簡單的控制塊機構和可調節的氣流單元允許用戶定制蝕刻參數,以適應特定的基板要求。例如,功率設定、氣流和腔室壓力都可以實時調整,以滿足廣泛的不同工藝需求。此外,控制機器采用嵌入式監控工具,可以檢測蝕刻過程中可能出現的任何異常情況,從而確保產品性能和可靠性達到最高水平。談到功能,Enviro還配備了多種硬件組件。其中包括計算機顯示器、光學觀察資產以及能夠承受蝕刻過程中產生的高溫的安全玻璃。此外,ULVAC Enviro設計為以手動或自動模式操作,允許用戶根據需要調整流程步驟。這樣可以確保實現最有效的蝕刻過程。最後,Enviro專為耐用和低維護費用而設計。它具有雙壁模型,允許用戶在必要時訪問和更換組件,使設備成為長期使用的理想選擇。此外,還包括一系列消耗性物品,如過濾器和油管,並易於更換,從而減少了今後的維修需要。總體而言,ULVAC Enviro是一個令人印象深刻的蝕刻和灰化系統,它為用戶提供了一系列高級特性和功能,為他們的蝕刻需求提供了一個通用且可靠的解決方案。
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