二手 ULVAC FRE-200E #9244585 待售

ULVAC FRE-200E是一種反應性離子蝕刻（RIE）工具,用於基於多種具有高選擇性和精確度的材料對多種基板進行蝕刻。該裝置能夠加工直徑達200毫米的基板。借助其先進的高頻電源,FRE-200E可以在0至200°C的更廣泛的加工溫度下處理蝕刻。此外，其可配置的設備使加工各種半導體基板和關鍵圖案形狀成為可能，包括LIGA、多層堆棧、薄膜工藝、MEMS、高級包裝和面板。借助2D顯示器和端點檢測支持,ULVAC FRE-200E還為用戶提供了過程一致性方面的信心。它還設計了晶圓旋轉機構，以確保精密蝕刻的離子分布均勻，使復雜形狀的處理更加順暢。此外,專用輔助電感的特性有助於設計人員優化蝕刻輪廓並降低負載曲率。該機具有載荷鎖定系統，可方便用戶使用。它還配備了ULVAC專有的「軟地」技術，這是一種獨特的著陸算法，有助於避免汙染，並允許射頻電源在不同基板條件下的平穩調度和運行。FRE-200E還設計了最新的安全功能,如鎖定/標記單元、聯鎖門機和用於安全操作環境的水監控工具。總體而言，ULVAC FRE-200E是一種蝕刻器/asher工具，它結合了精度、效率和安全性，即使是最復雜的基板也能提供可靠的蝕刻。其可配置的資產、先進的射頻電源、用於沈積的負載鎖定模型以及用於過程均勻性的終點檢測，使其成為研究和工業市場的寶貴工具。