二手 ULVAC Luminous NA 800 #293669776 待售
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ULVAC Luminous NA 800是一種用於半導體應用的蝕刻器/asher。它是一種垂直型等離子體蝕刻器，為各種材料的蝕刻加工提供優越的品質，如半導體材料、玻璃、陶瓷。Luminous NA 800憑借其先進的技術和精密的設計，能夠提供極低的離子能量和低溫。這樣可以確保材料和基材的最小損壞,以及最小的濺射.ULVAC Luminous NA 800由蝕刻室、源腔、泵腔和控制設備四個主要部件組成。蝕刻室是帶有圓形石英窗的不銹鋼絕緣壓力容器。它含有由射頻線圈輸送的等離子體和向腔室中心供應的氮氣。源腔用作氣體的儲存容器，泵腔用於系統內清潔調諧，以獲得最佳性能。控制單元由多個輸入鍵、數字顯示屏、操作員控制的氣流機和射頻發生器組成。蝕刻室配備了兩個可匹配調節的射頻線圈和兩套自動功率調諧網絡，以最小的過度蝕刻提供了高蝕刻選擇性。Luminous NA 800憑借其先進的自動等離子控制工具，與傳統的蝕刻系統相比，能夠實現更高的工藝均勻性。這使得它非常適合精密蝕刻。此外，射頻發電機可以在任何功率或頻率下保持精確的功率，允許更陡峭的蝕刻輪廓。ULVAC Luminous NA 800也提供了最高的工藝安全標準。它配備了多個聯鎖裝置，以確保達到最高安全標準。此外,它還具有許多增強過程重復性的功能,例如自動氣體控制、自動反饋和恒定功率/頻率控制。這樣可以確保生產出質量最高的零件。總體而言，Luminous NA 800是一款功能強大的蝕刻器/asher，旨在滿足半導體應用的需求。ULVAC Luminous NA 800憑借其創新的設計和先進的技術，能夠在極低的溫度和離子能量下提供卓越的蝕刻質量和精度。它具有多種功能，以確保工藝的安全性和可重復性，使其成為現有的最佳蝕刻系統之一。
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