二手 ULVAC NA-8000 #9314090 待售

ULVAC NA-8000是一種蝕刻器/灰化器,在蝕刻和灰化過程中提供高精度和控制。廣泛用於加工多種基材，包括矽片、玻璃和金屬。該設備采用雙室設計，其中一個專門用於預蝕刻和幹蝕刻，另一個用於後蝕刻和濕蝕刻，使蝕刻和灰化過程具有最大的靈活性和效率。該系統采用計算機控制的時間和溫度控制單元來確定所需的蝕刻深度和速率。這樣可以實現更精確的蝕刻和灰化,同時減少過度蝕刻問題。將基板暴露於等離子體可以改善蝕刻和灰化性能。提高了蝕刻速率和均勻性，減少了汙染。ULVAC NA8000具有用於精確晶圓處理的負載鎖定機。這對於加工易碎底物特別有用，因為它可以最大限度地減少損壞或排出氣體。晶片也可以從工具上裝卸，而不會破壞真空或使資產受到外界環境的汙染。NA 8000提供了廣泛的蝕刻和灰化工藝參數,例如壓力、溫度和曝光時間。該模型還具有自動化例程,用戶可以使用不同的工藝參數設置和管理多個蝕刻/灰化配方。該設備與格式P-2.5、P-3和P-4兼容,以便快速設置和易於測量。NA-800配備了可調節的舞臺，可調節至800x500 mm。這個內置階段使用戶能夠快速有效地掩蓋不會被蝕刻的區域。該系統還具有直接等離子體發生器和內置半導體級氣體輸送裝置。這些功能使蝕刻/灰化過程自動化,並允許用戶控制氣流和壓力。ULVAC NA 8000 蝕刻器/asher是一個緊湊、精確、易於使用的單元，對小、大基板的蝕刻和灰化都非常有效。它能夠對各種材料進行蝕刻和粉刷，並提供了具有自動化加工程序的雙室機的靈活性和便利性。可調級和直接等離子發生器為用戶在蝕刻和灰化過程中提供了更高的控制和精度。該工具還兼容多種格式，使其成為半導體加工的理想解決方案。