二手 ULVAC NA1000 #9130841 待售

ULVAC NA1000是一種最先進的蝕刻器/asher設備,旨在在蝕刻和灰化過程中提供卓越的性能。與傳統的asher/etcher系統相比,該系統提供了卓越的功能、準確性和成本優勢。該裝置是一種高度緊湊和集成的機器，包含各種各樣的頭、泵和其他設備，使其適合各種半導體和類似的應用。NA1000工具由四個主要組件組成，它們以高效可靠的方式協同執行蝕刻和灰化過程。這些組件包括等離子體發生器模塊、基板傳輸模塊、蝕刻器/灰室和真空發生器模塊。所有這些組件都是相互連接的,以確保高效和準確的操作。等離子體發生器模塊是一種真空電弧發生器，旨在向蝕刻器/灰燼室提供電流。這允許精確控制等離子體反應和高速蝕刻和灰化操作。基板運輸模塊是一種輸送機資產，其設計目的是將基板送入和送出蝕刻室。蝕刻室（Etcher/Asher Chamber）是一個有單獨的疏散口的腔室，包含廣泛的電極和陽極尖端。這些組件都設計為協同工作,以便於蝕刻和灰化過程。真空發生器模塊是模型的主要真空來源，其設計目的是產生一個用於蝕刻和灰化過程的低壓環境。該模塊配有高精度真空泵和必要的附件，以保持在蝕刻/asher腔低壓。此外，該模塊還配備了壓力互鎖系統、過程監控和故障檢測算法等多種安全功能。這些功能可確保流程在最佳和安全的條件下運行。總體而言，ULVAC NA1000 蝕刻器/asher設備是一個高效可靠的系統。憑借其模塊化的設計、高精度的元件以及廣泛的頭部、泵和其他附件,此單元非常適合任何蝕刻和灰化應用。此外，其先進的技術、安全系統和提供精確結果的能力使其成為任何半導體或類似生產環境的理想選擇。