二手 ULVAC NA1000 #9150936 待售

ULVAC NA1000是一種專門為滿足高精度光刻加工需要而設計的蝕刻器/粉碎器。由於機械和電氣反饋機制受到嚴格的調節，設備能夠以最小的像差進行蝕刻和灰化。蝕刻器/asher使用先進的離子束等離子體源精確地創建一個能夠產生具有精確能級的離子束的高密度等離子體，允許高分辨率的模式化過程。NA1000配有自動光束同軸補償監控器（ABCMTM）,在處理過程中不斷調整誤差並確保精確的模式。該機還配備了可變聚焦透鏡系統，以均勻地調節多級離子的光束大小。這使其成為涉及曲面的蝕刻和灰化過程的理想選擇。此外,ULVAC NA1000提供了一種能夠在300kHz的脈沖重復頻率下輸出高達550瓦的高功率驅動器激光器,為超高功率蝕刻/灰燼工藝提供了出色的光束均勻性和能量響應。NA1000專為潔凈室應用而設計,並設有封閉式工作室,以確保超清潔操作。該裝置還裝有真空泵，以維持較低的真空壓力，降低汙染過程的風險。該機能夠在-80°C至700°C之間的晶圓製程溫度，使其適合各種製程。蝕刻器/asher與Quartz和聚酰亞胺存儲卡兼容，並配有一系列可選配件，包括一個機器人晶片處理臂，以幫助晶片定位和裝卸。總體而言,ULVAC NA1000 蝕刻器/asher是一臺高度先進的精密機器,旨在為光刻工藝提供最佳效果。其優越的機電反饋機制、可變對焦透鏡和高功率激光確保在安全、清潔的環境中實現一致、精確的陣列。