二手 ULVAC NE-5000N #293758555 待售

ULVAC NE-5000N是一種精密蝕刻和灰化設備,旨在提供用於生產電子元件和半導體器件的適當精度和精密蝕刻和灰化工藝。它提供了更高的可靠性、精確度、汙染控制和吞吐量，以方便燒蝕和選擇性蝕刻。適用於多層金屬布線、MEMS傳感元件、薄晶圓工藝技術的生產。該系統的精密蝕刻能力提供了納米和微米水平的物料去除。它使用了一個具有集成RF/DC源的超高真空（UHV）腔室和兩個並行運行的上遊高功率RF源，提供了廣泛的等離子體蝕刻。該單元可通過其高級語言（ADL）實現高度控制和可重復的蝕刻過程,從而實現精確的過程控制。它還提供精確的蝕刻配方和快速蝕刻循環。集成的射頻/直流源能夠選擇性地蝕刻各種材料，包括金屬、聚合物和電介質。射頻/直流源以脈沖或連續模式運行，從而進一步控制蝕刻時間和深度。此外，射頻源還能夠進行高功率等離子體蝕刻工藝，包括陽極氧化和清潔各種材料。真空室裝有多用戶加工單元，便於同時蝕刻多個晶片。該機還結合了離子槍和離子束蝕刻能力，實現陽極氧化和鋁層選擇性蝕刻。它還具有用於薄膜蝕刻和沈積的濺射塗層和離子束沈積工具。先進的溫度控制和腔室設計為所有過程周期（包括晶圓冷卻）提供了精確且可重復的過程控制,從而實現了優化的蝕刻速率、均勻性和可重復性。NE-5000N還利用新的清潔設備防止汙染，這有助於延長工序室的壽命和提高可靠性。該模型設計得非常可靠,並且需要最少的維護。它的高級軟件可用於排除各種過程問題。ULVAC NE-5000N還設計了用戶友好的觸摸屏顯示器和控件，便於操作和調整參數。