二手 ULVAC NE 550 #293758401 待售

ULVAC NE 550是由ULVAC Technologies, Inc.制造的蝕刻/蝕刻灰化機。NE 550旨在利用「幹法」技術減少蝕刻或灰粉所需的時間。這項技術通過使用固定臺、等離子體流和氮氣的組合來加速蝕刻/灰化過程。ULVAC NE 550裝有電腦控制設備和有紋理的TABLE，增強了蝕刻灰在晶圓表面的附著力。該表還提供了出色的晶圓平坦度。NE 550上的腔室大小為40厘米（長）x 36厘米（寬）x 25厘米（高）。這使得晶片的直徑可達400毫米，厚膜可達1毫米。ULVAC NE 550還配備了重做和自動對準功能，使系統能夠在蝕刻前快速對準晶圓。NE 550利用兩個等離子源，感應耦合和電子回旋共振（ECR），功率範圍為10至3,000瓦，用於精確蝕刻/灰化。溫度範圍在100°C至450°C之間，蝕刻速率為0.3 μ m/min至15 μ m/min。ULVAC NE 550有一個自動化的控制單元，帶有可編程的配方和參數，能夠方便用戶操作。該機還配備了先進的反應性氣體工具，結合使用氧氣、氮氣、HCl、CF4和SF6氣體進行蝕刻和灰化應用。NE 550非常適合在矽晶片上蝕刻/灰化金屬和介電層。它也被用於加工半導體器件、太陽能電池和平板顯示器的各個行業。廣泛應用於研發應用。ULVAC NE 550是一種有效的資產,已被證明是任何蝕刻/灰燼應用的高效和可靠的解決方案。它結合了精度、速度和精度,是制造精密元件的理想選擇。對於需要高級蝕刻和灰化工具以產生可靠和精確結果的用戶來說，這是一個很好的選擇。