二手 ULVAC NE 550 #9236724 待售

ULVAC NE 550是一款為現代半導體工業應用而設計的蝕刻器/asher。它是一個單一的腔室蝕刻器/灰化器，可以處理廣泛的蝕刻和灰化過程。它配備了獨特的陰極電弧蝕刻源技術，通過控制濺射提供完美的蝕刻效果。NE 550是一種高精度的工具，能夠以最高的質量和重現性執行原子刻度蝕刻和灰化過程。它的等離子體源是完善的陰極電弧放電，最大電壓為4.4 kV，功率為2 kW。它能夠處理直徑200至500毫米的晶片，不會對周圍環境造成任何損害。這消除了異物的產生，因此在蝕刻和灰化過程中不使用危險化學品。氣鎖室完全密封，采用1x10至6 Torr的真空室，溫度可達300攝氏度。其均勻性和可重復性提高了裝置的生產率，為蝕刻工藝提供了最高性能。根據材料類型和配方,可以根據特定的應用調整蝕刻和灰化過程時間。ULVAC NE 550還提供了一些先進的功能，包括邊緣角控制設備和腔室快速冷卻系統。邊緣角控制單元通過控制蝕刻源的角度有助於減少蝕刻時間。這提高了蝕刻結果的均勻性和重復性，也防止了底物的氧化。腔室快速冷卻機有助於降低晶片的熱穩定性。此工具有助於減少溫度變化造成的缺陷,並改善蝕刻層的質量。總體而言,NE 550是一種先進的蝕刻工具,可提供卓越的蝕刻效果以及改進的工藝一致性和可重復性。它確保了最大的工藝效率和設備的最高產量。它是高精度、高通量蝕刻應用的理想選擇。