二手 ULVAC NE 550 #9236725 待售

ULVAC NE 550是一種等離子體蝕刻器/asher，設計用於平面加工尺寸高達450mm的高精度基板。它是一種可靠、用戶友好且用途廣泛的蝕刻各種材料表面的工具。NE 550配備了強大的蝕刻站和公司節省地板空間的設計。該機具有用於等離子體處理的集成MF天線設備，允許基板更均勻的蝕刻速率，以及可調節的天線，提供對腔室的垂直和水平控制。ULVAC NE 550的自定義軟件包允許用戶為多個過程和材料編程過程參數。包裝中包含的標準硬件部件是輔助氣體包加熱器、自動供氣系統和遠程電擊單元，提供安全可靠的操作。蝕刻器的工藝室設有獨立的冷卻機，以維持最佳的溫度和壓力。高效抽水工具旨在減少蝕刻過程中的顆粒汙染。腔室的溫度控制是通過連接到PID型控制器的PID溫度控制器實現的。NE 550裝有一個高精密的階段，用於蝕刻後基板的運輸和粘附，以及一個在蝕刻過程中對基板的撥放進行精密自動移動的機器人手臂。機械臂由電機編碼器驅動，測量基板位置以確保對基板的精確處理。在安全方面，該機設計用於檢測氣體泄漏，以降低發生事故的風險。此外，該機包括廣泛的安全控制資產，包括緊急停止按鈕、逃逸檢測功能和自動關閉機制。總體而言，ULVAC NE 550 蝕刻器/asher是高精度零件批量生產的理想解決方案，適合與多種材料配合使用。它操作簡單、可靠，設計時考慮到安全性和精確度。