二手 ULVAC NE 5500 #9281926 待售
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ULVAC NE 5500是一款高性能的幹蝕刻機,設計用於快速、準確地從多種基材中去除材料。這種幹蝕刻器是一種全自動系統,可以執行等離子體蝕刻、反應性離子蝕刻(RIE)、濺射蝕刻和激光蝕刻等蝕刻過程。它有一個簡單直觀的操作面板,提供了廣泛的進程參數供用戶修改。這款最先進的蝕刻器配有等離子體源、腔室溫度控制系統,配有大功率射頻發電機,提供對基板處理的精確控制。ULVAC NE5500幹式蝕刻機具有室溫控制系統,可用於可靠的低溫高溫工藝。這個過程允許精確控制蝕刻過程中使用的材料和化學物質,以及防止氧化和對基材的損壞。腔室以10-6 torr以下的總壓力密封,以消除外界顆粒的汙染。該室還設有兩個石英窗口,用於觀察蝕刻過程。NE-5500幹式蝕刻器具有高功率射頻發電機,可用於為蝕刻過程提供精確的功率。它具有2 kHz至8 MHz的廣泛頻率範圍,精度高。該蝕刻器還可確保均勻配電,以實現最大精度和控制。射頻發生器在蝕刻過程中還具有安全可靠的互鎖機構,確保任何類型的幹擾都能迅速消除。ULVAC NE-5500幹蝕刻器還有一個緊湊的工藝室,旨在確保操作過程中的最大均勻性。該腔室的設計不僅提供最大精度,而且最大限度地減少蝕刻過程中的熱量損失。腔室內部塗有耐腐蝕材料,以提高耐久性。此外,它還提供了較低的維護,從而減少了故障,並隨著時間的推移提高了性能。總體而言,NE 5500是一款高效、可靠且堅固的幹式蝕刻器,可滿足許多不同工藝的蝕刻需求。其簡單直觀的操作面板可以輕松調整蝕刻參數,而其大功率射頻發電機在蝕刻過程中提供精度和精確度,低維護設計確保了長期性能。這就是為什麼ULNAC NE5500是一個偉大的解決方案,任何人尋找一個高效和可靠的幹蝕刻。
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