二手 ULVAC NE 550C #9266611 待售

ULVAC NE 550C是一種蝕刻器和灰化器,用於縮小尺寸和定義直徑上限為8英寸的晶片上的圖樣。ULVAC NE-550C的先進設計和特點，使生產性能和精度更高。ULVAC專有冷凝輔助反應蝕刻技術在低側面蝕刻入口處產生高質量的效果。該機使用具有集成脈沖蝕刻功能的直列式、高性能射頻發生器。脈沖蝕刻確保晶片上圖樣的高、均勻的清晰度，並限制任何不必要的蝕刻。NE 550C具有在蝕刻和灰化過程之間切換的功能,使其在廣泛的應用程序中非常有用。此功能非常適合需要頻繁在流程之間切換的客戶,從而提高效率和生產率。該機器還具有自動晶片處理功能，一旦晶片被放置在腔內，就會啟動蝕刻或灰化過程。基於PC控制器的全自動控制設備使用戶能夠調整蝕刻過程以滿足所需的最高標準。用戶友好的軟件和直觀的用戶界面提供了對氣體成分、壓力、蝕刻時間和溫度等參數的完全控制。NE-550C包含一個板載真空系統，在工藝室內提供高均勻度的等離子體，同時盡量減少外部氣體和空氣的影響。自動氣體過濾器清洗裝置和自動泄漏檢測機有助於減少氣線維護造成的停機時間，確保安全處理。ULVAC NE 550C是晶圓加工應用的高效蝕刻和灰化機.其先進的技術允許低邊蝕刻入口進行高質量的加工。能夠在流程、自動晶片處理、板載真空工具和直觀的用戶界面之間進行切換,確保了高效、安全的處理,使其非常適合要求最苛刻的應用程序。