二手 ULVAC NE 550EXa #293627815 待售

ULVAC NE 550EXa是一款功能齊全的蝕刻器/asher,可提供卓越的蝕刻和灰燼性能。設備配備了先進的腔室設計和各種工藝、泵和提取選項，可以量身定制，以滿足甚至最具挑戰性的蝕刻和灰燼需求。NE 550EXa腔室設計具有先進的雙區域、旋轉和線性驅動以及獨立的多區域蝕刻和灰燼功能。該工藝室采用射頻驅動的裝訂墻設計，采用雙壁工藝排氣歧管，最大限度地提高泵室凈化效率，優化工藝控制。雙區域設計允許在晶圓的多個區域對特征進行蝕刻和灰化。ULVAC NE 550EXa還具有多種工藝、泵和抽取組件,包括高效、多速磁控管濺射源、內部開窗冷卻室、高需求量多通道泵、多種可選工藝氣體及其混合物以及電隔離室。可選的高效多通道泵是需要最大流程吞吐量和控制的大容量流程的理想選擇。該系統還提供可定制的工藝程序和變速電機，以簡化和自動化蝕刻和灰燼工藝。可編程過程設置允許用戶配置諸如腔室壓力、射頻濺射功率、卡盤電壓、塗層/蝕刻/灰燼時間、溫度和氣流等過程參數。此外,NE 550EXa設計安全,易於維護。該裝置設有一個安全聯鎖機器和一個全面的監測工具，可針對潛在危險情況發出聲音和視覺警報。該資產還包括易於使用的電子控制面板和彩色圖形用戶界面、實驗室自動化界面以及支持網絡的操作。ULVAC NE 550EXa是一種先進的蝕刻器和灰化器,旨在滿足最嚴格的蝕刻和灰分要求。其先進的腔室設計、可定制的工藝程序以及各種工藝、泵和提取選項簡化了制造精確、功能豐富的零件的過程。無論對小零件還是大零件進行蝕刻和灰化,NE 550EXa都可以幫助降低成本、提高效率,並使生產過程更輕松可靠。