二手 ULVAC NE-550EXz #293797487 待售

ULVAC NE-550EXz是一種先進的等離子體蝕刻器/asher，設計用於支持各種納米加工應用。由於其優異的電氣特性和緊密的尺寸，特別適合於納米設備的制造。NE-550EXz具有高效的工藝控制，並配有高精度石英石英室，可精確控制蝕刻參數和結果。該腔室的設計旨在確保穩定供應反應性氣體，並且能夠達到低環境壓力（小於6 mTorr）。它還改進了樣品材料的優惠處理，包括III-V和聚合物基底。ULVAC NE-550EXz還具有內置控制和監控功能。其計算機控制系統允許操作員在蝕刻過程中精確監控氣流、壓力和等離子體狀況。它還以溫度控制算法的形式利用實時反饋，確保運算符具有一致的結果。該系統還支持對基板進行自動實時修剪，進行小尺寸調整，以優化蝕刻輪廓。在動力方面,NE-550EXz為用戶提供了卓越的性能。它配備了兩臺微波發電機--一臺高頻脈沖發電機和一臺低頻連續發電機--為等離子體源提供充足的功率。這使得它能夠實現高選擇性和均勻性的蝕刻過程。此外，它還能夠達到長達15秒的循環時間，使其成為快速生產納米設備的理想系統。最後,ULVAC NE-550EXz得到ULVAC知名服務和支持的支持。經驗豐富的技術人員可以提供安裝、調試、數據記錄和計劃維護方面的幫助。因此,NE-550EXz用戶可以確信他們得到最高級別的客戶服務的支持。