二手 ULVAC NE 7700 #9111268 待售

ULVAC NE 7700是一種高精度、低溫的蝕刻器/asher,專為蝕刻多種材料而設計。其低溫能力使其能夠蝕刻細膩敏感的材料，降解風險最小。NE 7700有一個由內部體積為71L的不銹鋼構成的加工室。它配有二氧化碳（CO2）氣體輸送系統，允許在整個腔室進行準確和均勻的蝕刻過程控制。其狹縫載荷設計，便於基板載荷和卸載，並提供了防止汙垢顆粒在工藝室內。此外，還包括一個綜合真空泵，用於從該過程中排出汙染物和揮發性有機化合物。在過程控制方面,ULVAC NE 7700有一個電源單元（PSU）,可手動和可編程供電。PSU具有極高的準確度,其通電時間和斷電時間可在10毫秒內固定,總電源持續時間可在25毫秒內固定。還包括真空壓力指示器（VPI）,用於監測整個過程中的處理壓力。NE 7700配備了最優工藝設置程序，該程序根據蝕刻條件自動控制濕蝕刻工藝。通過輸入目標蝕刻深度和蝕刻速率和輪廓的敏感性,程序隨後計算蝕刻過程的最佳條件。蝕刻速率可從0.2至20 μ m/min調節,蝕刻溫度範圍為0°C-70°C。ULVAC NE 7700是一款用途廣泛的蝕刻器/asher，可用於蝕刻多種材料，包括金屬、半導體和聚合物。它體積小巧,臺式機設計使其能夠輕松集成到任何實驗室環境中,而且它的低溫性能使其適合精確、敏感的蝕刻應用。因此,它是在大學、研究所和生產環境中進行蝕刻和灰化應用的理想選擇。