二手 ULVAC NE-950EX-V #9298401 待售
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ULVAC NE-950EX-V是一種由模塊化設計構成的蝕刻器/粉碎器設備。它能夠對各種不同的材料進行高質量的蝕刻，從金屬到半導體。它能夠蝕刻/粉刷各種不同尺寸的基材，包括250毫米晶圓。系統配有傳感器，用於檢測基板的尺寸，以便對每個蝕刻過程應用正確的設置。該單元還能夠容納最多三個不同的蝕刻和兩個ashing站，允許多步蝕刻和ashing過程在一個運行進行。NE-950EX-V的主要特點是多功能性。它有一個四軸，X-Y-Z-θ控制機，允許每個基板精確定位和調整，以最大程度的蝕刻精度。該工具還可以容納各種不同的加工氣體，能夠精確控制每種氣體的流動。這允許對不同的應用程序使用不同的蝕刻和灰化過程,從而更好地控制蝕刻配置文件和性能。該資產由一個自動控制單元驅動，該單元可由用戶編程，用於定制蝕刻和灰化操作。它還設計了一個內置的自動調整模型，用於優化過程參數，並且可以進行遠程監控和控制。這使得即使在流程變更期間也能快速、穩定和可靠地運行。這些設備還具有全面的安全功能，配有聯鎖裝置和監測裝置，以防止未經授權和潛在危險的行動。總之，ULVAC NE-950EX-V是一種功能強大的、精密控制和自動化的蝕刻器。它具有高度的靈活性和優化的操作，是各類蝕刻和灰化應用的理想系統。
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