二手 ULVAC NE-950EX #293647319 待售

ULVAC NE-950EX是一種旨在滿足高端研究和工業應用需求的蝕刻/粉碎機。該儀器在晶片、集成電路和其他基板上產生高質量、高分辨率的蝕刻。利用窄電子束，提供高蝕刻速率、低汙染、優良的表面質量。NE-950EX具有專有的徑向光束控制設備,可實現卓越的深度控制,並具有屏蔽式熱陰極電子槍,可提高光束的穩定性和均勻性。利用ULVAC專有的氣體混合系統，蝕刻器支持多種氣體，包括甲烷、氧氣、一氧化氮、氮氣、氙氣等等。此外，該單元還配備了自動氣體成分和流量控制機，以及快速高效蝕刻的綜合工藝控制軟件。軟件還允許用戶為每個蝕刻過程設置參數,以確保結果一致。此外，ULVAC NE-950EX提供了一個密封的射頻等離子體腔，以盡量減少蝕刻時的汙染。其精密的加熱工具通過提高工藝表面的溫度，使氣體電離形成離子和電子的羽流，有助於提高蝕刻效率。這些離子與基材發生反應，形成均勻的蝕刻輪廓。該資產還配備了內置的自動真空模型和全面的設備監控和診斷軟件。該監控軟件允許用戶監控實時系統參數、氣流和壓力、腔室溫度和錯誤消息。此外,它還提供了將數據導出到外部打印機或計算機以進行進一步分析和記錄保存的功能。最後,NE-950EX設計方便操作,並配有直觀的用戶界面和觸摸屏控制器。這種蝕刻器/asher提供了卓越的蝕刻效果，減少基板汙染，高表面質量和分辨率，並在一個緊湊和經濟實惠的單元出色的深度控制。