二手 ULVAC NE-950EX #293828963 待售

ULVAC NE-950EX 蝕刻器/asher是一種先進的幹蝕刻設備,用於在多種應用中對極薄膜進行精密蝕刻或灰化。該系統能夠處理Si、GaAs、Cu等多種材料。該裝置具有平衡的載荷框架和改進的推力能力，能夠保持較高的吞吐量和精度水平，同時保持對工藝參數的最大控制。NE-950EX提供了高度精確的蝕刻或灰化過程。這臺機器具有多種處理能力，可提供高吞吐量和快速周轉時間。這包括自動調整正確的晶圓厚度、精確的壓力控制和精確的溫度控制。其直流操作確保了一致的性能，並消除了靜電放電的風險。此外，它還與先進的管道壓力監測儀集成在一起，以確保工藝室內無顆粒顆粒。利用ULVAC先進的等離子體發生器，ULVAC NE-950EX提供了較高的蝕刻速度，對基材的損傷最小。此工具具有多噴嘴等離子體源,允許對蝕刻速率和選擇性進行高級控制。加上三電極資產，模型能夠精確控制蝕刻圖案的大小、形狀和深度。NE-950EX的過程自動化設備提供了卓越的過程穩定性。這個系統最多可以儲存15種不同的食譜，並且可以用簡單的按鈕操作進行調整。該自動化單元還允許通過遠程操作和診斷進行高效維護。為了提供額外的安全和保護,該機器還集成了自動延遲超壓保護和緊急關閉開關。ULVAC NE-950EX是一個非常先進的蝕刻器/asher,它提供了一個快速而精確的過程,具有卓越的可重復性。憑借其集成的自動化工具，該資產能夠提供卓越的蝕刻質量，具有高度的可重復性和先進的控制。結合低維護成本，這款車型提供了極好的投資回報。