二手 ULVAC NE-950EXk #9204281 待售

ULVAC NE-950EXk Etcher/Asher是一種高精度的蝕刻和灰化設備,能夠產生高質量的蝕刻和灰化工藝。利用其高精度壓力控制系統和ULVAC獨特的蝕刻技術，NE-950EXk可以生產蝕刻深度非常均勻、線寬狹窄的薄膜。ULVAC NE-950EXk是一種蝕刻器/灰化器,它使用一系列化學過程和物理技術對材料進行蝕刻或灰化。該單元包括一個用於沈積蝕刻口罩的等離子體蝕刻模塊和一個用於去除蝕刻口罩的濺射模塊。該機還有一個集成的高精度壓力控制工具，可用於精密蝕刻和灰化。蝕刻過程使用一種化學劑進行，該化學劑與氣相中的材料發生反應，並用於精確蝕刻薄膜。灰化過程使用氧化劑執行,該氧化劑用於從表面蝕刻不需要的材料。這一過程可以在沒有殘余層的情況下進行精確的粉刷，並且比其他方法所能達到的精度更高。NE-950EXk資產還配備了三個獨立控制的氣源、溫度傳感器和質量流控制器，以實現精確的蝕刻和灰化。此外，該模型還有一個腔室壓力監測設備，允許精確和可重復的真空結果。除了蝕刻和灰化，ULVAC NE-950EXk還可以生產相冊離子、濺射沈積膜和聚合物膜。此外，通用系統允許多層基板加工。綜上所述，NE-950EXk是一種高精度的蝕刻和灰化裝置，能夠產生高質量的結果，具有較寬的蝕刻深度和較窄的線寬。該機集成的高精度壓力控制工具和獨特的蝕刻技術也使其成為生產具有精確、可重復蝕刻深度和狹窄線寬的薄膜的絕佳解決方案。最後，資產的多功能性使其還能產生濺射沈積膜、離子束沈積和多層底物。