二手 ULVAC NE-950EXk #9359650 待售

ULVAC NE-950EXk是為生產高質量微電子元件而設計的蝕刻器/粉碎器。這種設備使用最先進的技術，以最小的汙染創造一致的精確和可重復的結果。這個系統是一個多功能的蝕刻器/asher，具有集成的源和腔室組件，兩者都是模塊化的，設計方便的可擴展性和靈活性。該單元的源模塊由包括氣櫃和淋浴的氣體分配機、射頻發生器和熱絲組件組成。氣櫃和淋浴為工藝室提供精確和可再現的加工氣體，從而可以精確控制工藝的性能。射頻發生器為FCCVD、F-CVD、電鍍蝕刻工藝提供動力，提供多層的受控氣相沈積或精確調諧蝕刻，RS發生器確保重復性和性能。熱絲組件（HFE）模塊是為快速熱處理技術而設計的,為熱氧化、退火和其他過程提供惰性環境。NE-950EXk工藝室模塊的設計具有良好的工藝均勻性、可重復性和魯棒性。它是一種集成了冷卻水排氣設備的濕式工作臺工具。此腔室設計用於處理廣泛的工藝應用,包括超高密度蝕刻、濺射蝕刻、等離子體退火和RIE蝕刻/蝕刻。該腔室還設計用於薄膜沈積、薄膜清洗、濺射等多用途應用。ULVAC NE-950EXk各種微電子元件和生產過程的理想工藝解決方案。除了高度可靠的模型設計外,ULVAC還為NE-950EXk提供了許多支持服務。這些服務提供完整的啟動幫助、安裝指導、咨詢和故障排除服務以及過程開發和優化。利用這些服務，ULVAC NE-950EXk旨在在半導體和微電子市場提供最高水平的性能。