二手 ULVAC NE-950EXz #293797424 待售

ULVAC NE-950EXz 蝕刻器/asher是用於控制反應性離子蝕刻和灰化過程的通用、可靠的高級工具。該設備采用創新設計,比以前的型號提供了更好的性能。該系統由工藝室、雙機器人、控制器和各種接口設備組成。該室配有原位感應等離子體發生器，可實現更好的均勻性和更少的交叉汙染，並利用垂直和水平電場實現高質量的生產力。雙機器人提供增強的自動進料和加載能力，允許快速、方便的操作。具有較高的沈積速率，NE-950EXz可以實現更均勻的塗層和更高的等離子體密度，從而提高蝕刻/灰化性能。該單元配備了多功能控制器，允許多種編程選項。操作員可以配置各種參數，根據特定任務定制沈積和蝕刻過程。控制器還提供實時監控功能以確保質量結果。控制器可以遠程操作，提供進一步的便利和靈活性。ULVAC NE-950EXz還包括渦輪泵、真空計、端點探測器和自動壓力控制機等一系列附件。這些配件旨在確保高效可靠的操作。該工具可與各種氣體混合物一起使用，使其能夠完美適應任何蝕刻/灰化工藝。總之,NE-950EXz是為高級用戶設計的通用、可靠的蝕刻/灰化資產。該型號具有高效的組件、多功能控制器和多種配件,可提供快速、方便的操作,並具有高質量的效果。