二手 ULVAC NE-950EXz #293797486 待售

ULVAC NE-950EXz是為半導體、微機電系統（Micro-Electro-Mechanical Systems）和其他相關行業中各種材料的精確和高性能處理而設計的最先進的蝕刻器/粉碎器設備。該系統采用了先進的技術和特點，能夠高效、均勻地加工基板，具有優異的蝕刻和灰化效果。NE-950EXz的主要亮點之一是其多用途的加工能力，它能夠實現廣泛的應用，包括光致抗蝕劑去除、表面清潔、介電和金屬材料蝕刻以及半導體制造和研究中的其他關鍵工藝。這種靈活性是通過創新的硬件設計、復雜的過程控制算法和用戶友好的軟件界面相結合而實現的,這些界面便於為不同的應用程序定制過程參數。該單元具有雙頻、電感耦合等離子體（ICP）源,產生具有極佳離子密度和能量分布的高反應性等離子體,可有效去除和蝕刻材料。ICP源得到下遊等離子體源的補充，以進一步控制過程化學和等離子體特性，從而增強蝕刻選擇性、均勻性和可重復性。此外，ULVAC NE-950EXz還配備了具有精確溫度控制和氣流管理能力的堅固的反應性離子蝕刻（RIE）室。該腔室設計用於容納從晶片到單個樣品的各種基材尺寸和類型，確保與不同的工藝要求兼容。該機器還具有先進的端點檢測功能，能夠實時監測蝕刻過程，準確確定端點信號，從而改進過程控制和重復性。除了其蝕刻能力外，NE-950EXz還能夠對基板表面的有機汙染物、光致抗蝕劑和其他殘留物進行灰化處理。該工具的灰化室配備了專用的氣流控制系統和溫度管理功能，以確保最佳的灰化條件，並最大限度地減少過程中對敏感材料的損壞。此外,ULVAC NE-950EXz的設計具有高度的自動化和可靠性,可方便高效、免提操作並最大程度地減少停機時間。該資產包括高級診斷工具、遠程監視功能和自動化維護例程,可幫助優化模型性能、延長組件使用壽命並降低用戶的運營成本。總體而言,NE-950EXz是一種用於高級半導體制造、研究和開發中的蝕刻和灰化應用的前沿解決方案。它結合了高性能的等離子體源、多用途的工藝能力、精確的控制功能和先進的自動化功能，使其成為取得卓越工藝成果、提高生產率、推進下一代半導體器件和技術發展的寶貴工具。