二手 ULVAC NLD-500 #9055179 待售
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ULVAC NLD-500是一種精密蝕刻器/灰化器,一種用於各種蝕刻和灰化過程的設備,如光刻灰化、金屬蝕刻和晶片清洗。超低真空灰化器/蝕刻器利用渦輪分子泵實現超高真空環境,以安全、快速、精確的蝕刻/灰分材料。NLD-500具有5.7英寸大液晶顯示屏,操作方便,效果可靠。它還配備了幾個自動操作系統,如自動清洗、自動關閉和自動處理系統,以確保它始終以峰值性能運行。ULVAC NLD-500還具有雙等離子體模式,該模式同時蝕刻和粉碎同一腔室的晶片或基板。蝕刻器/asher的設計采用了緊湊的尺寸和高效的冷卻系統。緊湊的設計允許易於放置和運輸,而冷卻裝置可確保NLD-500具有長而可靠的使用壽命。ULVAC NLD-500的設計也非常靈活,能夠支持存儲在內存中的多種配方和各種工藝,包括等離子體氫氟酸(HF)濕蝕刻工藝和經過加工的反應性離子蝕刻(RIE)。NLD-500還能夠處理各種各樣的基材類型,從矽到石英、金屬等等。ULVAC NLD-500的安全特性一流,對工人和環境有高度保護。它配備了幾個傳感器,包括一個監測和限制氟氣濃度的氟化氫傳感器,以及一個水位警報,以確保機器運行在適當的水位。NLD-500是一種具有革命性意義的蝕刻/灰化基板的機器,它具有超高真空環境和高效的冷卻系統,對工人和環境有很高的保護水平,並且能夠處理各種各樣的基板。利用ULVAC NLD-500,用戶能夠快速可靠地獲得精確的結果。
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