二手 ULVAC NLD-800 #293610229 待售

ULVAC NLD-800 Asher/Etcher是一種高性能蝕刻和灰化裝置，非常適合晶圓和各種基材的加工。NLD-800具有超精密的蝕刻和灰度處理工藝,以及可為大多數客戶提供直接蝕刻設備的功能,是極緊尺寸公差和高速率生產的完美解決方案。蝕刻器/asher有一個大腔室，並配有射頻發生器，以高效傳遞電能和精確控制蝕刻和灰化過程。ULVAC NLD-800旨在利用射頻發電機的高頻和高功率能力提供均勻、高度可重復和非常可控的蝕刻和灰化過程。它有一系列的控制參數，如工藝的數量、電平溫度、頻率、功率和化學濃度，可以編程，以確保每個應用的最佳結果。NLD-800設計方便地加工直徑達6.0英寸的基板,無需任何修改。為統一加工基板提供了夾緊系統、活動籃子和支架等標準配件，以及隔離板的圓頂支撐平臺。使用批裝機系統可以方便地裝卸基板。ULVAC NLD-800還配備了掩體互鎖開關和等離子體電離器等各種安全措施，防止腔室在其內部壓力正常前被打開。此外，低質量的不銹鋼蓋和優化的疏散系統可以顯著減少工藝化學品的排放。蝕刻器/灰化器的先進設計能夠與一系列化學品實現最佳兼容性，減少化學品消耗，並最大限度地減少對操作者和環境的影響。此外，先進的診斷和預防性維護功能允許用戶監控系統的工藝條件和參數，以確保均勻和可重復的蝕刻或灰燼工藝。NLD-800是研發、合同制造或生產環境中高精度蝕刻和灰化操作的理想選擇。憑借輕巧的設計、先進的安全功能和射頻發生器功能,ULVAC NLD-800為各種客戶端提供了高度的控制、可重復性和功能。