二手 ULVAC Phoenix #133356 待售

ULVAC Phoenix是由ULVAC Technologies Inc開發的蝕刻/灰化設備。它是半導體工業必不可少的工具，因為它有助於產生現代集成電路設計。該系統利用熱氧化和化學蝕刻工藝在基材表面形成微小的圖樣。這一過程對於創建小的、復雜的模式，直到納米範圍是必不可少的。它也用於創建薄膜電路，是電子工業中使用最廣泛的蝕刻/灰分設備之一。菲尼克斯有一個超低真空（ULV）腔室，有一個旋轉源，將氣體或化學物質送入腔室。零件在4軸自動機單元上加載到腔室中。該機器人精度高，可重復精度高，可容納多個不同形狀和大小的零件。這臺機器能夠進行幹濕蝕刻.在濕蝕刻中，將一種化學混合物註入室內，以便在基材表面形成所需的圖案。幹蝕刻利用等離子體通過濺射和/或離子轟擊的過程實現選擇性蝕刻，從而形成圖樣。ULVAC Phoenix支持單片和晶片卡帶加載。它允許手動和自動裝載、卸載以及進出艙室。一旦進入腔室，就用高真空壓力、反應性氣體和熱相結合的方式對零件進行蝕刻或灰化。此外，由於快速循環時間和高性能的旋轉精度，腔室內的不同操作可以快速高效地完成。該工具還提供了出色的可靠性和可重復性。這樣可以確保產品的質量一致,從而獲得優異的產量和更高的生產吞吐量。此外，鳳凰城還提供業界領先的安全性，利用眾多的氧化和蝕刻工藝，這些工藝旨在釋放最小的副產品。總體而言,ULVAC Phoenix是一項出色的蝕刻和灰化資產,非常適合生產高質量、錯綜復雜的亞微米集成電路設計。它擁有一系列功能,使其成為任何生產環境中的強大工具。