二手 ULVAC Phoenix #9164102 待售
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單擊可縮放
ID: 9164102
優質的: 1998
Etcher
Enviro single chamber
Multiple step RF
Microwave plasma asher
Includes:
BROOKS AUTOMATION MTR-5
BROOKS AUTOMATION Board M/N 001-1951-02 revC3
BROOKS AUTOMATION M/N 001-8200-76
BROOKS AUTOMATION M/N 001-2300-47
ASTEX AX2050 2500 W Microwave power generator
ASTEX AX3032
ASTEX AX3030
ASTEX F120047
ASTEX SA2050TBB
ASTEX S402WG2
ASTEX AX3060
GE FANUC Series 90-30 CPU 341
ENI Automatch M/N MWH-5-01M3
JET Light power supply M/N DC24-8000-30
VAT Vacuum gate valve M/N 02010-BA24-1008
VAT Vacuum gate valve M/N 02010-BA24-1009
THK-SC6
MKS Vacuum isolation valve M/N LP2-40-AK-CLVS
MKS BARATRON Pressure transducer M/N 122BA-00010AB
Multiple AERA MFCs FC-7700CD
NUPRO Valves
Gateway computer & wonder ware
Spare parts
Multiple support manuals & documentation
Power: 208 V, Cycles 60 Hz, 30 Phase, 60 A, 5 Wires,
1998 vintage.
ULVAC Phoenix是由ULVAC, Inc.開發的蝕刻/粉碎器設備。它是為各種基材的高速、高精度蝕刻和粉刷而設計的。該系統有一個自動基板處理單元，允許超高速，一通，角控制，在廣泛的材料。鳳凰利用離子束均勻地蝕刻基板，它有兩個主要成分：蝕刻/灰化源和控制單元。源由一個離子源、一個機械運動機器和一系列鏡頭組成，以聚焦離子束。控制單元提供控制蝕刻、灰化和清潔過程所需的參數。控制單元設計為提供廣泛的參數設置，允許用戶對參數進行編程，以實現各種基板所需的結果。可編程參數包括氣流、源梁功率、蝕刻和灰化角度以及材料層速率。可調參數為各種材料和工藝提供了靈活性。此外，ULVAC Phoenix的設計符合國際安全標準，包括防靜電防護、符合人體工程學設計的控制面板，以及先進的安全工具。Phoenix是最強大可靠的蝕刻器/ashers之一。它利用高速蝕刻和灰化、靈敏控制系統以及先進的安全功能，為用戶提供了一個高效的蝕刻和灰化基板解決方案。此外,它靈活的編程功能支持廣泛的應用程序和過程,使用戶能夠根據其蝕刻/灰化需求獲得最佳性能。
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