二手 ULVAC Ulvac W200T #184763 待售

ULVAC Ulvac W200T是一種為各種精密蝕刻應用而設計的幹膜蝕刻器/asher。該裝置由工藝室、基板級、氣體控制設備、真空系統、電源控制單元、排氣機、控制面板組成。工藝室水平配置有觀察蝕刻過程的窗口，從而可以精確控制蝕刻參數。石英室配有法蘭，用於加工基板的精確對準和裝載。基板級是水平X-Y-R線性級，具有精確的停止和重復精度，用於快速載荷和基板定位的精確對準。該級還包含一個慣性光學對準工具和一個用於加工圓形基板的旋轉基板附件。氣體控制資產是一種全自動模型，具有數字讀數，用於精確的氣體控制蝕刻過程。氣體控制由兩條氣體管線組成，一條管線用於蝕刻氣體，另一條管線用於加工輔助氣體，兩條管線均勻調節。真空設備包括渦輪分子高真空泵和快速釋放機械泵。渦輪泵允許工藝室達到10-6至10-8 Torr的壓力，而機械泵則設計為提供200至500 mTorr的壓力。電源控制系統可調，提供蝕刻多種電路所需的精確電源和控制。排氣單元為射頻過濾甚高頻，確保最大蝕刻速率和最小擴散。控制面板提供內置的計算機機器和符合人體工程學的控制旋鈕，方便精確地控制蝕刻過程。該工具還配備了板載冷卻水資產，以提高蝕刻速率，並控制溫度和蝕刻氣氛。Ulvac W200T能夠將SiO2、SiNx、SiOC、聚酰亞胺、COC等多種材料精確蝕刻沈積到金屬、金剛石如碳（DLC）、碳納米管。該蝕刻器非常適合各種應用，包括但不限於微電子材料、器件和電路。