二手 ULVAC UNA 2000 #163814 待售

ULVAC UNA 2000是一種蝕刻器和粉碎器,設計用於各種制造過程中的卓越工藝性能。該設備非常適合精密微電子器件的制造，為無功和無功氣體蝕刻及灰分工藝提供了可靠的工藝控制。UNA 2000利用一個裝卸室進行裝卸作業，裝有加熱/冷卻板、光掩模板和基板。它包括一個6英寸到8英寸的單晶片團簇型端效應器和一個帶有石英鐘噴嘴的掃描射頻感應板，以實現工藝靈活性。提供了一系列的過程控制機制，包括一個適用於多達64個氣源的ASTAR II可尋址氣體歧管，該歧管具有自動氣體切換能力，以及用於設置氣體流量的質量流量控制器。該系統還包含真空泵、石墨套筒和屏蔽、熱線陷阱、低溫泵、氣體面板和工藝控制軟件。ULVAC UNA 2000還附帶了一個額外的電束控制單元和控制器，允許用戶對目標基板的高能量內爆進行編程。分步診斷菜單有助於確保機器的安全可靠運行。UNA 2000采用單晶片模式和批處理模式設計，允許用戶在單個或批基板之間切換。此功能有助於簡化基板加載和卸載。該工具還配有高精度氣體噴射和射頻基板加熱設備，用於目標的有效和均勻的蝕刻/灰化。ULVAC UNA 2000能夠每小時處理多達2000個基板,並提供帶有觸摸屏顯示器的可選群集控制器,以便於控制晶圓的移動和狀態。它包括一個用於顯示過程氣體壓力、氣體流量和過程控制定時的監視器。該模型能夠通過標準配方語言（SRL）提供流程配方,用於快速流程設置和軟件下載。UNA 2000是一種高效可靠的蝕刻器和灰化器，在微電子器件制造中提供卓越的性能。該設備提供堅固的工藝控制、全方位的工藝控制機制、高精度氣體註入、射頻基板加熱系統，同時提供單片片和批量工藝操作。該單元為用戶提供了一個快速、安全和可靠的解決方案,用於要求苛刻的制造過程。