二手 ULVAC UNA-2000 #293616239 待售

ULVAC UNA-2000是一種化學蝕刻器和灰化器,適用於各種應用.它設計用於在車間或生產環境中處理中小型基板。UNA-2000提供了許多特性和功能,包括蝕刻各種基材的能力,例如矽片、玻璃、藍寶石、石英和金屬。它有一個四室設備，提供雙重蝕刻和灰燼工藝，以及一個用於預處理和後處理的室，以及一個隔離室。隔離室有助於使用於蝕刻和灰化過程的化學加工劑（CPA）遠離其他腔室,從而顯著提高設備的耐用性並提高系統可用性。ULVAC UNA-2000采用模塊化設計,便於設置和維護。它具有9區工藝溫度控制單元和能夠實現高速、高精度蝕刻的噴嘴。它還具有一個預處理室，用於控制基材上的殘留雜質，提供更高的產量和更好的蝕刻質量。UNA-2000還具有全自動觸摸屏顯示功能,提供易於使用、菜單驅動的用戶界面。可編程控制參數可以定制為處理配方，以後可以從內存中存儲和召回。ULVAC UNA-2000的鈍化室可以連接到真空線，從而實現幹性膜的去除和清潔。該室還裝有一個排氣口，用於疏散已建成的CPA。UNA-2000是一個有效和適應性強的蝕刻器/asher機器，適用於廣泛的應用。其模塊化設計使安裝、維護、操作方便。其精確的工藝溫度控制、高精度噴嘴和自動菜單驅動的用戶界面，確保了精確一致的蝕刻和灰化結果。為了提高耐用性和提高工藝精度，ULVAC配備UNA-2000隔離室、鈍化室和排氣口，使其成為各種蝕刻和灰化工藝的理想選擇。