二手 ULVAC UNA-2000 #9055148 待售

ULVAC UNA-2000是一種高效的等離子體蝕刻器，設計用於薄膜的沈積和蝕刻。該機配備了一系列特點，提供高分辨率和精確度的多種材料，包括金屬、聚合物和陶瓷。UNA-2000有兩個獨立的工藝室，一個是高精度的機動化晶片定位設備，另一個是可調節的支撐結構，便於改變基板尺寸。ULVAC UNA-2000利用帶有惰性氣體混合物的真空室均勻、精確地沈積和蝕刻薄膜材料。高真空環境有助於保持幹凈、無氧的氣氛，使等離子體能夠蝕刻而不破壞樣品材料。兩個獨立的工藝室還允許同時處理兩個不同的基板。機器的晶圓定位系統配備了高精度電機單元，允許精確的光束轉向和精確的晶圓定位。它還包含一系列運動選項,允許用戶自定義蝕刻過程。可調節的支撐結構可用於輕松調節基板尺寸，使其與多種基板尺寸兼容。UNA-2000使用源等離子體去除基板表面的物質，設計為與供氣管線配合使用，提供一致的氣流。可調的進氣壓力可用於精確控制蝕刻過程，而高純度氙氣供應有助於保證氣流一致。ULVAC UNA-2000是一種高度可靠和精確的等離子體蝕刻器，它以廣泛的材料提供了出色的蝕刻效果。該裝置也適用於批量和無批量操作，是任何蝕刻應用的理想選擇。該機設計符合最高蝕刻質量規格，內置高分辨率等離子體測量機確保精度和可重復性。