二手 ULVAC UNA-2000N #9055149 待售

ULVAC UNA-2000N是為許多工業應用而設計的精密幹式蝕刻器/灰化器。本機配備了高精度對焦鏡頭和高速多級薄膜蒙版舞臺。它能夠蝕刻厚度達2微米的單層薄膜，以及厚度達10微米的多層薄膜。其廣泛的操作參數允許精確、可重復和低成本的蝕刻過程。UNA-2000N配備了2000-Watt的射頻電源，使其能夠在蝕刻過程中產生高蝕刻速率和高精度。它還配備了一個經常可調節的光柵尺寸，允許機器設置用於各種尺寸的蝕刻作業。此外，它的低溫等離子體室和低壓操作有助於最大限度地減少顆粒產生和膜汙染。ULVAC UNA-2000N有600攝氏度的上限溫度，使得它適合熱敏材料包括玻璃、陶瓷、cermet、碳和聚合物。其光阻去除和原位清潔功能非常適合最復雜的蝕刻工藝。此外，其內置氣體系統允許各種氣體，增加了蝕刻的靈活性。UNA-2000N配備了一系列安全功能,以實現可靠的性能和長期耐用性。它的動態溫度控制系統確保熱量的均勻分布和一致的溫度，而隔室保護快門防止汙染進入隔室。此外,它的內置監視器提供了對過程數據和系統警報的準確監控,有助於防止在蝕刻過程中發生任何意外事件。這種精密蝕刻器/asher適用於廣泛的工業應用，包括半導體器件加工、晶圓級封裝和微元件蝕刻。其先進的功能,加上卓越的性能,使其成為潔凈室環境的理想選擇。ULVAC UNA-2000N是各種工業環境中精密蝕刻和灰化的理想選擇。