二手 UNAXIS / NEXTRAL 100 #9258327 待售
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ID: 9258327
優質的: 1999
System
TC120
DE60
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 2033 C2 Motor
With FOMBLIN 113 Fluid
Power supply: 3 Phase, 400 VAC
1999 vintage.
UNAXIS/NEXTRAL 100是一種用途廣泛的真空測試器/asher,非常適合各種應用。它非常適合創建高清微觀結構以及薄膜光刻膠。該蝕刻器/asher易於使用，並且可以可靠，即使在粗糙的操作條件。它還符合節能和MSL標準,非常適合各種工藝和工業環境。該裝置采用非接觸式靜電卡盤，有助於提高蝕刻產量。此卡盤還可以防止目標材料粘附到工作表面,並確保更均勻的蝕刻表面。卡盤還能防止表面起伏和粒子的形成，從而導致微觀結構不穩定或邊緣分辨率較差。UNAXIS 100還配備了一個背面離子源（BSI），其中最多包含四個獨立發射器，以促進多種植入過程。BSI優化的基板可以放置在單室或多室配置中，以方便復雜微結構的蝕刻和灰化。BSI功能還有助於確保統一和可重復的過程。該設備還針對快速流程周轉時間進行了優化。BSI的快速響應時間以及等離子體蝕刻的均勻性促進了這一點。此外，該蝕刻器/asher還配備了一個車載可配置質量流控制器，用於精確和優化工藝參數。這允許用戶優化不同材料的設置，如聚合物、矽、玻璃和其他類型的基板。最後，NEXTRAL 100還配備了全面的觸摸屏顯示屏和多語言菜單，方便數據操作和控制。這樣可以方便地實時讀取流程結果以及即時調整流程。總之，100 蝕刻器/asher是一種有效可靠的設備，非常適合各種蝕刻應用。憑借其能效和可編程的特點，它是理想的工業或實驗室設置。
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