二手 UNAXIS / NEXTRAL 860L #9172081 待售

UNAXIS / NEXTRAL 860L
ID: 9172081
ECR Etching system.
UNAXIS/NEXTRAL 860L是專門為各種濕蝕刻和灰化應用而設計的下一代蝕刻器/灰化器。它提供了高效和受控的幹蝕刻過程,使用戶能夠獲得可靠、可重復的結果。UNAXIS 860L配備了雙源等離子體配置,通過可調工藝設置和量身定制的工藝配方提供精確的蝕刻和灰度性能。它能夠產生精確穩定的蝕刻結果。NEXTRAL 860L還提供了一個高性能的電離氣體提取和清潔系統,使工業用戶能夠擁有非常小的i.d.油管產品以統一的方式提取和清潔其零件。配備了多種選項,860L提供了出色的均勻性蝕刻工藝.可編程配方設置、壓力測量和自動校準為用戶提供了一個簡單、個性化的過程控制。UNAXIS/NEXTRAL 860L還提供了氧化物去除和沈積功能,以減少氧化物過載並提高蝕刻工藝效率。UNAXIS 860L的設計考慮到了有效的材料管理。它具有高容量負載能力,能夠處理高達400 mm x 250 mm (16 ″ x 10 ″的零件尺寸。其定制設計的工藝室經過優化,在低工藝溫度和壓力下提供均勻蝕刻,使其高效。此外,NEXTRAL 860L還設計用於提高安全性。它提供自動氣體輸送,使用戶只暴露於受控環境中。860L配備了內置消防系統,以防止任何事故蔓延到整個設施。總體而言,UNAXIS/NEXTRAL 860L是一款超高效的蝕刻器/Asher,可提供卓越的性能、可靠性和精確度。適用於工業應用,易於設置和使用。UNAXIS 860L提供了廣泛的靈活工藝配方,使其成為工業蝕刻和灰化工藝的理想選擇。
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