二手 UNAXIS / NEXTRAL N 860 #9125878 待售

UNAXIS/NEXTRAL N 860是一種化學機械蝕刻和灰化設備，具有集成的負載鎖。該系統利用等離子體和濕蝕刻技術實現了廣泛的工藝應用。UNAXIS N 860具有優化的控制單元,能夠提供卓越的薄膜厚度均勻性和卓越的薄膜質量。NEXTRAL N 860利用配備感應耦合線圈的等離子體蝕刻室，產生功率範圍較大的非平衡等離子體。該腔室還配備了射頻匹配網絡、氣泡、真空泵，以保證最佳等離子體條件。該室還包含一個石英托盤和熱電偶，以提供溫度控制和對薄膜蝕刻參數的精確控制。機器與機械攪拌化學濕蝕刻室集成在一起。這個腔室配有射流、泵和閥門，使材料的化學蝕刻成為可能。濕蝕刻室由不銹鋼制成，設計為與多種化學品兼容。該工具使用配方管理軟件進行編程，允許在配方管理資產中輸入流程參數。該軟件提供各種功能，如蝕刻和沈積時間控制，以及通過集成熱電偶進行腔室溫度控制。N 860還具有集成的負載鎖，為蝕刻和沈積過程提供溫度控制和操作穩定性。負載鎖采用壓力密封，由不銹鋼制成，為蝕刻沈積作業提供清潔安全的環境。UNAXIS/NEXTRAL N 860蝕刻和灰化模型是用於高質量蝕刻和灰化操作的強大工具。其優化的控制設備和廣泛的工藝應用使其能夠提供卓越的均勻性和薄膜質量。此外,它的集成負載鎖確保溫度控制和操作穩定性.