二手 UNAXIS / NEXTRAL N 860 #9170856 待售

ID: 9170856
晶圓大小: 8"
優質的: 2002
High density plasma etcher, 8" For de-layer 2002 vintage.
UNAXIS/NEXTRAL N 860是一種蝕刻器/灰燼裝置,設計用於涉及金屬、聚合物、陶瓷和其他材料幹蝕刻的生產過程。它采用48x48x15厘米的工作包絡設計,可實現高部件吞吐量。UNAXIS N 860配備自動化設備部件,能夠對工件進行高效和精確的蝕刻和粉刷。它還具有最先進的安全保護裝置,可保護最終用戶在蝕刻/灰化過程中免受任何輻射照射。該系統配有閉環反饋單元和單一的用戶友好控制面板,用於監控流程並進行實時調整。自動自我診斷功能可確保所有組件在生產開始前都處於完美的工作狀態。在機器硬件內,裝有石墨等離子體室、供氣口、射頻(RF)發生器和石英饋通工具。射頻發生器產生電磁場,在等離子體室中產生等離子體放電。然後利用氣口將工藝特異性氣體引入腔室,觸發反應並蝕刻工件。該進料資產采用擠壓閥機構對反應物氣體流量和壓力進行精確控制,從而能夠準確調整所需的蝕刻參數。NEXTRAL N 860提供高達2000 dpi的高精度蝕刻和灰化,實現了多種應用,從細線蝕刻和敏感工業元件的切割到大規模零件的蝕刻和切割。內部水冷模型保持必要的溫度,以獲得最佳性能和安全性。該設備可用於各種環境,從標準實驗室到潔凈室和工業環境。N 860是生產線和更大規模運營的完美解決方案,提供高吞吐量、可靠性和精確度。硬件設計確保了高性能和安全性,而可定制的軟件和高效的饋送系統允許進行細微調整以適應任何蝕刻和灰化應用。UNAXIS/NEXTRAL N 860具有先進的功能和可靠的性能,可確保任何環境下的最佳生產性能。
還沒有評論