二手 UVOCS T10X101/0ESIE #293593213 待售

UVOCS T10X101/0ESIE是一種適用於一系列應用的高性能蝕刻器和asher。它是一個批量設備，具有先進的針梁室設計，能夠容納多達10個200毫米的試樣晶片用於蝕刻，最多300毫米的試樣晶片用於灰化。T10X101/0ESIE模型還具有可用於沈積薄膜的LPCVD腔室。設計T10X101/0ESIE模型的腔室，以確保最佳的氣體流動沿軸和到樣品。采用全閉環調節的7區熱傳導加熱系統、基板加熱用紅外加熱器、工藝參數穩定用二次腔室和實時蝕刻端點測定用Helios平面輻射計。此外，該裝置還配備了先進的熱控制機，沿全晶片直徑提供統一的加工條件。T10X101/0ESIE蝕刻器和asher采用集成過程控制工具（IPCS）和先進的直觀觸摸屏用戶界面。這允許用戶輕松配置蝕刻和灰化所需的資產參數。此外,它還具有自動蝕刻程序,該程序可實現自動蝕刻配方優化,以及最多10個小數位數的蝕刻速率精度。模型還允許變量配方參數,具體取決於要蝕刻或粉刷的材料。此外，T10X101/0ESIE設備還配備了過程氣體進氣和全排氣控制、激光照明和簡單放置系統，方便用戶安全。該模型能夠實現高蝕刻和灰化速率,同時最大程度地減少表面損壞和其他工藝工件。最終,UVOCS T10X101/0ESIE蝕刻器和asher為許多蝕刻和灰化過程提供了高性能和可靠的解決方案。它的精確控制、先進的腔室設計和直觀的界面使得它成為研發實驗室以及工業應用的一個有吸引力的選擇。