二手 UVOCS T10X101/OES #293621296 待售

ID: 293621296
UV Ozone cleaning system.
UVOCS T10X101/OES是一種蝕刻器/灰化器,可提供精確而全面的蝕刻和灰化過程控制。它是一種全尺寸的單面蝕刻器/灰化器,具有受控的工藝氣體環境。它適用於各種各樣的表面,比手動塗層工藝有許多優點。它的特點使得這種設備非常適合諸如去除舊層、層的擴散和/或層的灰化等應用。蝕刻器/asher裝有兩個門,一個用於裝卸物料,另一個用於進出。這有助於方便地引入和移除材料。蝕刻器/粉碎器還具有再循環和過濾系統,能夠從工藝氣體中去除顆粒。提高了工藝效率,提高了材料表面均勻性.蝕刻器/灰化器提供幾種熱和腔室控制,包括25°C至600°C的溫度調節、0.1毫秒至1000小時範圍內的可編程蝕刻/灰化時間,以及可調節的壓力和流量。所有這些控制允許完全優化蝕刻和灰化過程,具體取決於表面和所使用的材料。與手動塗層工藝相比,這有助於獲得最小缺陷的均勻表面。UVOCS T10X101/OES與三種腔室氣體相容,即氦氣、氮氣和氙氣.它對這些氣體的電特性提供了極好的控制,允許對基板特性進行精確和精確的控制。此外,蝕刻器/asher還支持一些標準配件,如電極、淋浴頭、氣體檢測器、隔熱缸和熱電偶。所有這些配件都增加了設備的靈活性和效率。UVOCS T10X101/OES具有幾個安全特性,包括安全閥和溫度減壓閥,以確保安全可靠的運行。它還配備了先進的自我診斷功能,旨在檢測任何異常並即時診斷。這樣可以確保蝕刻器/asher隨著時間的推移保持其性能。蝕刻器/asher還帶有幾個內置的自動化選項,允許自動操作和移除材料。這樣可以確保快速、一致和安全地執行蝕刻/灰化過程。此外,蝕刻器/asher還提供了方便的遠程PC控制和數據記錄功能,使用戶能夠從任何遠程位置監視和調整進程設置。總體而言,UVOCS T10X101/OES是一種創新且功能強大的蝕刻器/asher,可在廣泛的蝕刻和灰化應用中提供卓越的效果。通過一系列配置和自動化選項,此設備一定能滿足您在實驗室中進行精密蝕刻和灰化的需求。
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