二手 VEECO / MICROETCH 1201 #293628789 待售
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VEECO/MICROETCH 1201是為半導體器件制造中的精密應用而設計的先進蝕刻器/asher。這種先進的設備具有高精度的溫度和介電蝕刻室，能夠公差嚴密的工藝參數，同時提供堅固和一致的結果。此外，集成離子槍技術提供了精確的橫向和垂直蝕刻控制，允許精確和高質量的圖樣得以開發。VEECO 1201設計用於高底物溫度和低溫反應物，以提高蝕刻精度和重復性。這樣可以在嚴格的工藝公差要求內進行蝕刻,而不會影響工藝性能或質量。MICROETCH 1201還具有高分辨率成像能力，可用於實時監測蝕刻過程並檢測局部異常。腔室還配備了多種射頻源，用於產生各種等離子體密度，為不同蝕刻應用提供恰到好處的工藝參數。1201用途廣泛,可用於各種蝕刻和粉刷應用。它能夠通過厚膜和透矽通氣進行蝕刻，同時避免對敏感基板的損壞。此外，VEECO/MICROETCH 1201具有集成的快速熱處理能力，可實現快速高效的熱處理，如氮化和氧化，以及薄膜和半導體基板退火。無論基板尺寸和形狀如何,此特性都能確保高度均勻的熱過程。此蝕刻器/asher由於其獨特的功能和性能組合而真正脫穎而出。VEECO 1201是一種高度可靠和高效的設備,可提供無與倫比的精確度、可重復性和精確度,用於蝕刻和粉刷應用。它是半導體器件和MEMS制造的理想選擇，有助於最大限度地提高產量，最大限度地減少代價高昂的工藝誤差。
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