二手 VEECO / MICROETCH 1201 #293628795 待售

ID: 293628795
Ion Beam Etcher (IBE).
VEECO/MICROETCH 1201是一種蝕刻器/asher,一種用於生產先進微電子的特定類型的先進設備。這一裝置常用於半導體制造和先進的微電子工業,利用化學和物理過程的組合,從基板上蝕刻掉不需要的材料,如金屬和聚合物薄膜。該單元主要用於處理集成電路、半導體元件和相關微電子器件。VEECO 1201具有獨特的高級體系結構,它將超精細的精度、精度和控制與可靠的低維護設計相結合。它特別具有雙壓力室和單容器操作功能,可實現易於監測和調整的高效蝕刻工藝。該裝置還采用了專利、集成的蝕刻和腐蝕控制系統,顯著減少浪費,提高吞吐量,提高工藝質量。該系統通過控制溫度、壓力和流量來操作,以優化蝕刻的處理,並設計為提供一致且可重現的性能。MICROETCH 1201還提供多種蝕刻和粉刷工具及配件,包括等離子體和激光蝕刻工具、離子蝕刻工具和高分辨率光刻工具。這些工具旨在幫助最大限度地提高流程效率並促進可靠的特征復制。該單元還提供一系列集成支持系統,如流程控制軟件和離線監控軟件,為用戶提供流程參數的實時反饋。1201還具有自動盒式磁帶傳輸系統,可幫助降低底物到底物的可變性並提高工藝的均勻性。總體而言,VEECO/MICROETCH 1201是一種用於先進半導體制造和微電子工藝的可靠和高效的蝕刻器/灰化器。該單元旨在為用戶提供一致、精確的蝕刻結果,減少停機時間並提高工藝產量。
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