二手 VEECO / MICROETCH 1201 #9354607 待售

ID: 9354607
Ion Beam Etcher (IBE).
VEECO/MICROETCH 1201是為各種先進材料工藝而設計的最先進的蝕刻器和asher設備。它通過其獨特的模塊化設計提供了靈活性和適應性,從而實現了廣泛的應用。該蝕刻器具有無應力、可重復和高度可靠的結果,在各種工藝溫度和時間範圍內都具有精確度和一致性。柔性Asher設計允許噴嘴位置和溫度範圍的變化,以便進行最佳蝕刻.此外,VEECO 1201增強的光學系統允許在整個晶片上進行光學增強的均勻處理。MICROETCH 1201還提供了大型晶圓處理功能和7英寸旋轉支撐夾具,用於均勻蝕刻和灰化。該模型還具有三維電極基板的擴展平臺。它包括一個尖端真空泵以及用於晶圓處理的手動和機器轉移能力。1201能夠支持化學和物理過程,可以蝕刻和粉刷各種材料,包括矽,石英,葉沙林,鋁和銅。它非常適合單層和多層流程,以及高溫或低溫流程和其他高級應用程序。這種蝕刻/灰化裝置具有較大的負壓操作範圍,以便在加工敏感基板時獲得最佳效果。它還包括一個光學顯微鏡,用於過程監測和測量蝕刻深度和輪廓。VEECO/MICROETCH 1201提供水性和有機反應性氣體輸送系統,在蝕刻和粉刷各種基材和材料時具有靈活性。它還擁有非常精確的控制和監控與PC和RS422接口控制.此外,VEECO 1201還內置了安全功能,包括多個溢流通道和保護電路,以減少危險物質泄漏造成的潛在損害。MICROETCH 1201是一款高級蝕刻器/asher,可提供性能、準確性和靈活性,以滿足要求最苛刻的應用程序。憑借其可重復的結果、擴展的基板處理能力和工程設計的安全特性,這臺機器是單層和多層蝕刻和灰化過程的理想工具。
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