二手 VEECO Microetch LL250 #9100793 待售

VEECO Microetch LL250是為半導體和MEMS/NEMS應用中的材料蝕刻和灰化而設計的高級蝕刻器/灰化器。它具有開放訪問配置,可以更快地加載和卸載基板,以及集成控制器、軟件驅動的配方參數和用於直觀編程的觸摸屏界面。它還提供了廣泛的過程參數和功能，以滿足各種應用程序的要求。VEECO LL 250裝有一個帶陶瓷絕緣材料的熱控工藝室，旨在確保加熱和冷卻均勻，結果更加一致。它裝有提供精確基板定位的x-y掃描儀，而精密的微閥噴嘴則提供高速生產和優越的選擇性和均勻性。此外，該單元還包括一個現場系統，允許對關鍵工藝條件進行實時監測和控制。MICROETCH LL 250采用高性能、多處理器控制系統,可提供精確和可重復的過程控制。它提供了先進的電源管理和診斷,以確保一致和可重復的結果,同時還提供了自動校準顯示器,可減少維護時間。此外,該設備還包括許多診斷和預防性維護功能,以幫助隨時間推移保持性能。此外，VEECO MICROETCH LL 250具有多項安全功能。這包括過溫保護、反應物管理和自動氣體關閉，以防止在工藝故障時氣體泄漏。此外，該裝置還配備了安全的物理屏蔽裝置以及光學和氣體傳感器，旨在探測和防止易燃氣體濃度。LL 250是高精度蝕刻和灰化工藝的理想選擇。它提供了廣泛的工藝功能、直觀的控制和可靠的性能,使其成為半導體和MEMS/NEMS應用程序中蝕刻和灰化操作的絕佳解決方案。